根据本发明的船形器皿包括被布置用以限定具有内部的容器的基底和侧壁。
船形器皿的底部可具有凸构形。
在特定实施例中，基底可具有凸构形，诸如圆柱的弯曲表面的一部分的形状，端壁位于基底的相对端处。
这种船形器皿可具有新月形构形。
每个船形器皿可被构形为靠着另一个船形器皿放置，使得能够组装多组船形器皿。
还公开了容纳并有效地增加前驱材料的表面积的多单元结构。
多单元结构可被构形为在船形器皿的内部中使用，或单独使用，而没有单独的船形器皿。
还公开了被构形为容纳船形器皿和/或多单元结构的蒸发腔和材料沉积设备，以及用于将前驱材料引入材料沉积设备中的方法。

J·登普斯特 J·梅纳德

HZO股份有限公司

美国犹他

根据本发明的船形器皿包括被布置用以限定具有内部的容器的基底和侧壁。
船形器皿的底部可具有凸构形。
在特定实施例中，基底可具有凸构形，诸如圆柱的弯曲表面的一部分的形状，端壁位于基底的相对端处。
这种船形器皿可具有新月形构形。
每个船形器皿可被构形为靠着另一个船形器皿放置，使得能够组装多组船形器皿。
还公开了容纳并有效地增加前驱材料的表面积的多单元结构。
多单元结构可被构形为在船形器皿的内部中使用，或单独使用，而没有单独的船形器皿。
还公开了被构形为容纳船形器皿和/或多单元结构的蒸发腔和材料沉积设备，以及用于将前驱材料引入材料沉积设备中的方法。