本公开提供一种过滤装置，包括一壳体、一过滤元件、及一电场产生单元。
壳体具有一入口及一出口，其中入口允许一流体流入壳体，而出口允许流体流出壳体。
过滤元件设置于入口与出口之间，用以通过一吸附方式过滤流过过滤元件之流体中的杂质。
电场产生单元配置用以产生一电场，使得前述杂质沿着电场的方向移动至过滤元件上。

王建惟 张庆裕 赖韦翰 林进祥

台湾积体电路制造股份有限公司

中国台湾新竹市

本公开提供一种过滤装置，包括一壳体、一过滤元件、及一电场产生单元。
壳体具有一入口及一出口，其中入口允许一流体流入壳体，而出口允许流体流出壳体。
过滤元件设置于入口与出口之间，用以通过一吸附方式过滤流过过滤元件之流体中的杂质。
电场产生单元配置用以产生一电场，使得前述杂质沿着电场的方向移动至过滤元件上。