本发明公开了一种用于涂布机的刮拭装置,包括:刮拭基座;设置在阻隔室中的用以对刮拭基座进行驱动的驱动马达,驱动马达和刮拭基座通过连接杆进行连接,其中:阻隔室包括:用以装设驱动马达的容置区;设在刮拭基座和容置区之间的阻隔区,阻隔区与容置区相连通,阻隔区将刮拭基座所在的工作区和容置区隔离。
本发明还公开了一种涂布机。
实施本发明的涂布机及其刮拭装置,能够增强隔离效果,有效避免光阻飞溅至驱动源,从而保证刮拭效果和设备正常作业;结构精简,传动安全可靠,便于维修和维护。
何文超
深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
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本发明公开了一种用于涂布机的刮拭装置,包括:刮拭基座;设置在阻隔室中的用以对刮拭基座进行驱动的驱动马达,驱动马达和刮拭基座通过连接杆进行连接,其中:阻隔室包括:用以装设驱动马达的容置区;设在刮拭基座和容置区之间的阻隔区,阻隔区与容置区相连通,阻隔区将刮拭基座所在的工作区和容置区隔离。
本发明还公开了一种涂布机。
实施本发明的涂布机及其刮拭装置,能够增强隔离效果,有效避免光阻飞溅至驱动源,从而保证刮拭效果和设备正常作业;结构精简,传动安全可靠,便于维修和维护。