目录

专利摘要

本发明公开了一种涂膜设备,其特征是,包括机架、样品台、监控模块和涂布头;所述涂布头、样品台均位于机架上;所述机架侧面设置有滑动模块;所述涂布头通过千分尺连接支撑座;所述支撑座与滑动模块相连接;沿所述滑动模块滑动方向,涂布头在样品台上进行涂膜;所述监控模块分别与机架和涂布头相连接;所述涂布头包括金属槽、出料孔、加压模块和压力显示及控制器;所述金属槽中部的槽设置为V型柱体;所述出料孔均匀分布在金属槽的底面,且与V型柱体连通;所述加压模块、压力显示及控制器均设置在金属槽顶部。
本发明所达到的有益效果:本涂膜机可以一次涂膜、干燥、再涂膜、再干燥,实现多层涂膜,有利于制备多层薄膜器件。

专利状态

基础信息

专利号
CN201811047686.4
申请日
2018-09-10
公开日
2019-02-01
公开号
CN109290128A
主分类号
/B/B05/ 作业;运输
标准类别
一般喷射或雾化;对表面涂覆液体或其他流体的一般方法
批准发布部门
国家知识产权局
专利状态
审查中-实审

发明人

陈雅茜 叶尚辉 肖燏萍 张猛 周舟 黄维

申请人

南京邮电大学

申请人地址

210023 江苏省南京市亚东新城区文苑路9号

专利摘要

本发明公开了一种涂膜设备,其特征是,包括机架、样品台、监控模块和涂布头;所述涂布头、样品台均位于机架上;所述机架侧面设置有滑动模块;所述涂布头通过千分尺连接支撑座;所述支撑座与滑动模块相连接;沿所述滑动模块滑动方向,涂布头在样品台上进行涂膜;所述监控模块分别与机架和涂布头相连接;所述涂布头包括金属槽、出料孔、加压模块和压力显示及控制器;所述金属槽中部的槽设置为V型柱体;所述出料孔均匀分布在金属槽的底面,且与V型柱体连通;所述加压模块、压力显示及控制器均设置在金属槽顶部。
本发明所达到的有益效果:本涂膜机可以一次涂膜、干燥、再涂膜、再干燥,实现多层涂膜,有利于制备多层薄膜器件。

相似专利技术