本发明公开了一种混合驱动MUT单元结构及其参数化激励方法，其将传统CMUT单元的塌陷工作模式与PMUT单元的驱动方式进行结合。
在超声发射状态，通过施加偏置电压使得振动薄膜处于塌陷状态。
同时在塌陷偏置电压基础上叠加周期信号，使得振动薄膜塌陷区域与传感器基底的贴合状态发生周期性变化，实现对振动薄膜弯曲刚度的周期性调控。
同时，对其余未贴合部分薄膜，采用PMUT基于逆压电效应的超声发射方法，实现MUT单元在变刚度条件下的振动增幅，实现MUT单元的参数化激励，增加MUT单元的发射灵敏度。

赵立波 徐廷中 郭帅帅 李支康 杨萍 李杰 赵一鹤 刘子晨 蒋庄德

西安交通大学

710049 陕西省西安市咸宁西路28号

本发明公开了一种混合驱动MUT单元结构及其参数化激励方法，其将传统CMUT单元的塌陷工作模式与PMUT单元的驱动方式进行结合。
在超声发射状态，通过施加偏置电压使得振动薄膜处于塌陷状态。
同时在塌陷偏置电压基础上叠加周期信号，使得振动薄膜塌陷区域与传感器基底的贴合状态发生周期性变化，实现对振动薄膜弯曲刚度的周期性调控。
同时，对其余未贴合部分薄膜，采用PMUT基于逆压电效应的超声发射方法，实现MUT单元在变刚度条件下的振动增幅，实现MUT单元的参数化激励，增加MUT单元的发射灵敏度。