本申请涉及一种压电反馈模组及装置,所述压电反馈模组包括依次层叠的第一压电振动单元、基底以及第二压电振动单元,所述第一压电振动单元包括依次层叠的第一电极层、第一压电振动层以及第二电极层,所述第二电极层位于所述第一压电振动层靠近所述基底的表面;所述第二压电振动单元包括依次层叠的第三电极层、第二压电振动层以及第四电极层,所述第三电极层位于所述第二压电振动层靠近所述基底的表面;其中,所述基底上设置有用于产生共振的共振腔,以增大经过该共振腔的振动波产生驻波的振幅。
从而增大相同驱动条件下压电反馈模组的振动位移量,提高了压电反馈模组的能量转换效率、振动或发声的效果,扩大了压电反馈模组的应用范围。
邱智元 朱晃亿 庄集德
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本申请涉及一种压电反馈模组及装置,所述压电反馈模组包括依次层叠的第一压电振动单元、基底以及第二压电振动单元,所述第一压电振动单元包括依次层叠的第一电极层、第一压电振动层以及第二电极层,所述第二电极层位于所述第一压电振动层靠近所述基底的表面;所述第二压电振动单元包括依次层叠的第三电极层、第二压电振动层以及第四电极层,所述第三电极层位于所述第二压电振动层靠近所述基底的表面;其中,所述基底上设置有用于产生共振的共振腔,以增大经过该共振腔的振动波产生驻波的振幅。
从而增大相同驱动条件下压电反馈模组的振动位移量,提高了压电反馈模组的能量转换效率、振动或发声的效果,扩大了压电反馈模组的应用范围。