在一些实施方式中，超声槽包含容器、设置在该容器内的包含工作区域的蚀刻液槽和围绕蚀刻液槽周界布置的多个超声换能器，其构造使工作区域内的超声功率标准偏差小于约0.35。

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美国纽约州

在一些实施方式中，超声槽包含容器、设置在该容器内的包含工作区域的蚀刻液槽和围绕蚀刻液槽周界布置的多个超声换能器，其构造使工作区域内的超声功率标准偏差小于约0.35。