一种制造超声换能器装置的方法,包括:制造超声换能器面板;以及将超声换能器面板分割成超声换能器装置。
制造超声换能器面板包括:提供第一载体;在第一载体上间隔地布置多个压电元件;在多个压电元件上涂敷介电材料以将多个压电元件中的每个压电元件嵌入该介电材料中,从而在第一载体上形成压电元件装置层;减薄压电元件装置层,从而得到多个压电元件中的每个压电元件的露出的第一侧;在压电元件装置层上形成第一电极层,第一电极层包括处于压电元件装置层中的每个压电元件的露出的第一侧上的第一换能器电极;以及将压电元件装置层与第一载体分开。
卡尔·伦达尔 汉娜·尼尔森 马丁·格里普
指纹卡有限公司
瑞典哥德堡
一种制造超声换能器装置的方法,包括:制造超声换能器面板;以及将超声换能器面板分割成超声换能器装置。
制造超声换能器面板包括:提供第一载体;在第一载体上间隔地布置多个压电元件;在多个压电元件上涂敷介电材料以将多个压电元件中的每个压电元件嵌入该介电材料中,从而在第一载体上形成压电元件装置层;减薄压电元件装置层,从而得到多个压电元件中的每个压电元件的露出的第一侧;在压电元件装置层上形成第一电极层,第一电极层包括处于压电元件装置层中的每个压电元件的露出的第一侧上的第一换能器电极;以及将压电元件装置层与第一载体分开。