本文公开了一种电容式微机械超声换能器(CMUT)单元，包括如下三个电极：第一电极，其耦合到单元膜；第二电极，其嵌入到与所述第一电极相对且与所述第一电极分离开一气体腔或真空腔的单元层板中；以及第三电极，其在腔体边上与所述第二电极相对，其中，电介质层夹在所述第二电极和所述第三电极之间以创建所述第二电极和所述第三电极之间的电容关系。
三电极CMUT单元提供具有两个受主动驱动的(控制的)电极的超声换能器。

A·C·范伦斯 A·W·格伦兰德

皇家飞利浦有限公司

荷兰艾恩德霍芬

本文公开了一种电容式微机械超声换能器(CMUT)单元，包括如下三个电极：第一电极，其耦合到单元膜；第二电极，其嵌入到与所述第一电极相对且与所述第一电极分离开一气体腔或真空腔的单元层板中；以及第三电极，其在腔体边上与所述第二电极相对，其中，电介质层夹在所述第二电极和所述第三电极之间以创建所述第二电极和所述第三电极之间的电容关系。
三电极CMUT单元提供具有两个受主动驱动的(控制的)电极的超声换能器。