本发明涉及一种激光清洗亚微米级污染颗粒的方法，利用激光清洗机器人对着待清洗工件的表面进行激光清洗，清洗效果好，清洗效率高；利用尾气检测和净化装置对激光清洗过程中产生的尾气进行检测和净化，检测的误差小，检测的结果准确度高，从而避免激光清洗机器人对着待清洗工件表面过度清洗或清洗不彻底；同时，还能够对激光清洗过程中产生的尾气进行净化，净化效果好，还能够显著延长真空泵的使用寿命，应用价值高。
采用一级净化器和二级净化器能够有效清除掉尾气中的颗粒杂质，清理效果好。

张正伟 周伯成 王永东 王圣福 刘宇航

安徽富乐德科技发展股份有限公司

244000 安徽省铜陵市金桥经济开发区

本发明涉及一种激光清洗亚微米级污染颗粒的方法，利用激光清洗机器人对着待清洗工件的表面进行激光清洗，清洗效果好，清洗效率高；利用尾气检测和净化装置对激光清洗过程中产生的尾气进行检测和净化，检测的误差小，检测的结果准确度高，从而避免激光清洗机器人对着待清洗工件表面过度清洗或清洗不彻底；同时，还能够对激光清洗过程中产生的尾气进行净化，净化效果好，还能够显著延长真空泵的使用寿命，应用价值高。
采用一级净化器和二级净化器能够有效清除掉尾气中的颗粒杂质，清理效果好。