本发明涉及一种激光清洗装置和方法，具体涉及一种基于共轴测距和焦距实时可调的激光清洗方法及装置，解决现有激光清洗方法存在无法克服的人工手持抖动以及工件表面结构复杂所带来的清洗效果不佳的问题。
本发明方法中，通过清洗激光与测距激光共轴传输，聚焦到工件表面，工件漫射反射回来的激光经二向色分光平片分离后，测距激光被光电探测装置接收，获得工件实时距离改变量，将其转换为电信号来控制光学元件之间的距离变化，精确调控动态透镜组焦距大小。
同时，本发明还提出了基于该方法的激光清洗装置，包括激光共轴传输和分离系统、动态透镜组及数字控制电路，通过实时改变动态透镜组凸透镜与场镜之间的距离实现焦距自动调节。

俱沛 范文慧 高卫

中国科学院西安光学精密机械研究所

710119 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号

本发明涉及一种激光清洗装置和方法，具体涉及一种基于共轴测距和焦距实时可调的激光清洗方法及装置，解决现有激光清洗方法存在无法克服的人工手持抖动以及工件表面结构复杂所带来的清洗效果不佳的问题。
本发明方法中，通过清洗激光与测距激光共轴传输，聚焦到工件表面，工件漫射反射回来的激光经二向色分光平片分离后，测距激光被光电探测装置接收，获得工件实时距离改变量，将其转换为电信号来控制光学元件之间的距离变化，精确调控动态透镜组焦距大小。
同时，本发明还提出了基于该方法的激光清洗装置，包括激光共轴传输和分离系统、动态透镜组及数字控制电路，通过实时改变动态透镜组凸透镜与场镜之间的距离实现焦距自动调节。