一种接合体的制造方法,其具有:工序A,准备将两个被接合物借助具有烧结前层的加热接合用片(40)暂时粘接而成的层叠体(10);工序B,将层叠体从下述定义的第1温度以下升温至第2温度;和工序C,在工序B之后,将层叠体的温度保持在规定范围内;在工序B的至少一部分期间及工序C的至少一部分期间,对层叠体进行加压。
第1温度为在进行烧结前层的热重量测定时上述烧结前层中所含的有机成分减少10重量%时的温度。
镰仓菜穗 菅生悠树 本田哲士
日东电工株式会社
日本大阪府
一种接合体的制造方法,其具有:工序A,准备将两个被接合物借助具有烧结前层的加热接合用片(40)暂时粘接而成的层叠体(10);工序B,将层叠体从下述定义的第1温度以下升温至第2温度;和工序C,在工序B之后,将层叠体的温度保持在规定范围内;在工序B的至少一部分期间及工序C的至少一部分期间,对层叠体进行加压。
第1温度为在进行烧结前层的热重量测定时上述烧结前层中所含的有机成分减少10重量%时的温度。