一种悬浮液，其特征在于，含有磨粒、二醇和水，磨粒的平均粒径是120nm以下，所述悬浮液的pH为4.0以上且小于8.0。
一种研磨方法，具备使用所述悬浮液研磨金属的工序。

大内真弓

日立化成株式会社

日本国东京都千代田区丸之内一丁目9番2号

一种悬浮液，其特征在于，含有磨粒、二醇和水，磨粒的平均粒径是120nm以下，所述悬浮液的pH为4.0以上且小于8.0。
一种研磨方法，具备使用所述悬浮液研磨金属的工序。