提供研磨装置，能够在研磨装置中高效地循环利用浆料，不会使装置结构变得复杂。
一种研磨装置，该研磨装置具有浆料循环单元，该浆料循环单元在卡盘工作台的下侧蓄留浆料而对晶片的研磨面循环提供浆料，其中，浆料循环单元包含：环状凹形的桶部，其在使研磨垫的研磨面与卡盘工作台所保持的晶片接触的研磨位置对卡盘工作台和从卡盘工作台的保持面上伸出的研磨垫进行收纳；空气喷出口，其配设在该桶部的底板上，对从卡盘工作台的保持面上伸出的研磨垫的研磨面喷射浆料；配管，其将空气喷出口与空气提供源连通；开口，其形成在配管的侧壁上；以及阀，其对从空气提供源向配管的空气提供和截断进行控制。

山中聪

株式会社迪思科

日本东京都

提供研磨装置，能够在研磨装置中高效地循环利用浆料，不会使装置结构变得复杂。
一种研磨装置，该研磨装置具有浆料循环单元，该浆料循环单元在卡盘工作台的下侧蓄留浆料而对晶片的研磨面循环提供浆料，其中，浆料循环单元包含：环状凹形的桶部，其在使研磨垫的研磨面与卡盘工作台所保持的晶片接触的研磨位置对卡盘工作台和从卡盘工作台的保持面上伸出的研磨垫进行收纳；空气喷出口，其配设在该桶部的底板上，对从卡盘工作台的保持面上伸出的研磨垫的研磨面喷射浆料；配管，其将空气喷出口与空气提供源连通；开口，其形成在配管的侧壁上；以及阀，其对从空气提供源向配管的空气提供和截断进行控制。