本发明是有关一种用于微结构转印的均压装置,是可压印一片基板,包含一个具有一个支撑容器、一均压液体、一个加压设备的下施压单元、一个相反于该下施压单元的上施压单元,以及一个成型模具,该支撑容器具有一个开口朝上的容置空间,及一个朝向该基板的顶环面,该均压液体是容置于该容置空间内,该基板底面是抵接于该顶环面上,而将该容置空间封闭,该加压设备具有一延伸至该容置空间内的活塞,该活塞可沿一轴向朝该基板推压该均压液体,该成型模具是设置于该基板顶面与该上施压单元之间,并具有一朝向该基板顶面的成型面,该成型模具的成型面是被该上施压单元抵紧于该基板顶面上。
本发明可降低制造成本,并且耐用,更可产生足够的转印压力,非常适于实用。
洪荣崇 洪景华
洪荣崇 洪景华
中国台湾台中市
本发明是有关一种用于微结构转印的均压装置,是可压印一片基板,包含一个具有一个支撑容器、一均压液体、一个加压设备的下施压单元、一个相反于该下施压单元的上施压单元,以及一个成型模具,该支撑容器具有一个开口朝上的容置空间,及一个朝向该基板的顶环面,该均压液体是容置于该容置空间内,该基板底面是抵接于该顶环面上,而将该容置空间封闭,该加压设备具有一延伸至该容置空间内的活塞,该活塞可沿一轴向朝该基板推压该均压液体,该成型模具是设置于该基板顶面与该上施压单元之间,并具有一朝向该基板顶面的成型面,该成型模具的成型面是被该上施压单元抵紧于该基板顶面上。
本发明可降低制造成本,并且耐用,更可产生足够的转印压力,非常适于实用。