本发明提供一种化学品输送装置、显影设备和显影系统，化学品输送装置包括储液罐组，储液罐组中的储液罐通过配管与目标工艺槽连接，其中，储液罐组中的一个储液罐为用于手动配比化学品的手动配比储液罐，手动配比储液罐分别通过设置有水泵的配管与其它储液罐连接，用以向所述其它储液罐输送化学品。
本发明提供的化学品输送装置，可以避免由于中央化学品供应系统中断化学品供应导致产品发生缺陷，有利于提高产品良率，同时降低产品成本。

汪栋 魏崇喜 万冀豫 吴洪江

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本发明提供一种化学品输送装置、显影设备和显影系统，化学品输送装置包括储液罐组，储液罐组中的储液罐通过配管与目标工艺槽连接，其中，储液罐组中的一个储液罐为用于手动配比化学品的手动配比储液罐，手动配比储液罐分别通过设置有水泵的配管与其它储液罐连接，用以向所述其它储液罐输送化学品。
本发明提供的化学品输送装置，可以避免由于中央化学品供应系统中断化学品供应导致产品发生缺陷，有利于提高产品良率，同时降低产品成本。