本发明涉及一种双层偏振非制冷红外探测器结构,包括半导体基座和探测器本体,所述探测器本体包括绝缘介质层、金属反射层、第一支撑层、金属电极层、第一保护层、第二支撑层、电极金属层、热敏层和第二保护层,所述第一支撑层和绝缘介质层之间形成第一谐振腔,所述第一保护层和第二支撑层之间形成第二谐振腔,所述电极金属层上设有热敏层,双层结构提高了像元的红外吸收效率,在第二保护层上设有偏振结构,可以实现偏振敏感型红外探测器的单片集成,而且极大的降低了光学设计的难度;还涉及上述探测器结构的制备方法,包括制备双层非制冷红外探测器的步骤,还包括在双层非制冷红外探测器上制备偏振结构的步骤。
邱栋 杨水长 王鹏 王宏臣 陈文礼
烟台睿创微纳技术股份有限公司
264006 山东省烟台市经济技术开发区贵阳大街11号
本发明涉及一种双层偏振非制冷红外探测器结构,包括半导体基座和探测器本体,所述探测器本体包括绝缘介质层、金属反射层、第一支撑层、金属电极层、第一保护层、第二支撑层、电极金属层、热敏层和第二保护层,所述第一支撑层和绝缘介质层之间形成第一谐振腔,所述第一保护层和第二支撑层之间形成第二谐振腔,所述电极金属层上设有热敏层,双层结构提高了像元的红外吸收效率,在第二保护层上设有偏振结构,可以实现偏振敏感型红外探测器的单片集成,而且极大的降低了光学设计的难度;还涉及上述探测器结构的制备方法,包括制备双层非制冷红外探测器的步骤,还包括在双层非制冷红外探测器上制备偏振结构的步骤。