本发明属于柔性电子薄膜技术领域，尤其涉及基于纳米结构和有序纳米颗粒的柔性SERS基底及其制备方法和应用。
所述SERS基底包括：柔性薄膜基材、光固化树脂层、凹槽、金属薄膜层和纳米颗粒，其中：所述光固化树脂层设置在柔性薄膜基材的表面上，所述凹槽呈阵列式分布在光固化树脂层上且与光固化树脂层一体化成型，所述金属薄膜层覆盖在光固化树脂层和凹槽表面，所述纳米颗粒有序填充在凹槽之中。
本发明将光固化树脂层和凹槽进行了金属化，并通过纳米结构和有序纳米颗粒的协同作用实现拉曼信号增强，具有精度高、灵敏度高、稳定性好、信号重现性强等优点。

张成鹏 姜兆亮 刘文平 马嵩华

山东大学

250061 山东省济南市历下区经十路17923号

本发明属于柔性电子薄膜技术领域，尤其涉及基于纳米结构和有序纳米颗粒的柔性SERS基底及其制备方法和应用。
所述SERS基底包括：柔性薄膜基材、光固化树脂层、凹槽、金属薄膜层和纳米颗粒，其中：所述光固化树脂层设置在柔性薄膜基材的表面上，所述凹槽呈阵列式分布在光固化树脂层上且与光固化树脂层一体化成型，所述金属薄膜层覆盖在光固化树脂层和凹槽表面，所述纳米颗粒有序填充在凹槽之中。
本发明将光固化树脂层和凹槽进行了金属化，并通过纳米结构和有序纳米颗粒的协同作用实现拉曼信号增强，具有精度高、灵敏度高、稳定性好、信号重现性强等优点。