本发明公开了一种基于玻璃浆料的标准漏孔密封方法，首先使用光刻和热压键合工艺在硅片上制作通道型标准漏孔，再将可伐圆板焊接在可伐管内，并将KF40法兰焊接在可伐管一端，随后在可伐圆板与KF40法兰上打孔，之后将玻璃浆料涂覆在可伐管中的圆板面上，待加热烧结玻璃浆料完成玻璃化后，再盖上标准漏孔，重新加热到玻璃浆料的熔融温度，自然降温后可完成对可伐管与标准漏孔的密封。

王旭迪 周问天 花雨 陈志强 林文豫 齐嘉东 游徳学

合肥工业大学

230009 安徽省合肥市包河区屯溪路193号

本发明公开了一种基于玻璃浆料的标准漏孔密封方法，首先使用光刻和热压键合工艺在硅片上制作通道型标准漏孔，再将可伐圆板焊接在可伐管内，并将KF40法兰焊接在可伐管一端，随后在可伐圆板与KF40法兰上打孔，之后将玻璃浆料涂覆在可伐管中的圆板面上，待加热烧结玻璃浆料完成玻璃化后，再盖上标准漏孔，重新加热到玻璃浆料的熔融温度，自然降温后可完成对可伐管与标准漏孔的密封。