一种大行程高速高精度的XY并联解耦微定位平台，包括中心移动平台、固定机构、桥式微位移放大机构、柔性移动副与压电陶瓷；固定机构设于相邻桥式微位移放大机构之间，关于中心移动平台的正负X轴与Y轴对称；桥式微位移放大机构对称设于中心移动平台正负X轴与Y轴上，包括两第一纵梁、两第二纵梁以及多个横梁；两第一纵梁平行间距分布；两第二纵梁间距设于两第一纵梁之间且通过横梁连接第一纵梁；横梁通过柔性移动副连接各纵梁；压电陶瓷设于两第一纵梁的输入端之间；靠近中心移动平台的第二纵梁设有输出端；输出端通过柔性移动副连接中心移动平台与固定机构。
本申请提供的解耦微定位平台能够在Micro LED芯片修复过程中，对缺陷位置进行精准定位。

高健 赖文秀 陈国聪 张揽宇 刘亚超 钟永彬 罗于恒 林华文

广东工业大学

510060 广东省广州市越秀区东风东路729号大院

一种大行程高速高精度的XY并联解耦微定位平台，包括中心移动平台、固定机构、桥式微位移放大机构、柔性移动副与压电陶瓷；固定机构设于相邻桥式微位移放大机构之间，关于中心移动平台的正负X轴与Y轴对称；桥式微位移放大机构对称设于中心移动平台正负X轴与Y轴上，包括两第一纵梁、两第二纵梁以及多个横梁；两第一纵梁平行间距分布；两第二纵梁间距设于两第一纵梁之间且通过横梁连接第一纵梁；横梁通过柔性移动副连接各纵梁；压电陶瓷设于两第一纵梁的输入端之间；靠近中心移动平台的第二纵梁设有输出端；输出端通过柔性移动副连接中心移动平台与固定机构。
本申请提供的解耦微定位平台能够在Micro LED芯片修复过程中，对缺陷位置进行精准定位。