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专利摘要

本发明公开了一种砷锗镉晶体生长原料的稳流合成方法。
把高纯度的Cd、Ge和As原料放入船型坩埚内,再放入半椭圆形的坩埚内,推入带有稳流装置的长型外坩埚内,抽真空进行密封后放入三温区合成炉中进行合成,使装As原料的坩埚处于炉体第一温区部位,稳流装置处于第二温区部位,装Cd原料和Ge原料的坩埚处于第三温区部位。
本方法通过三温区合成炉精确控制Cd、Ge和As原料反应温度,降低合成过程中的多余中间产物,并通过稳流装置,控制反应速度,保证了合成的安全性,有效调节合成原料化学计量比。

专利状态

基础信息

专利号
CN201811148474.5
申请日
2018-09-29
公开日
2020-09-01
公开号
CN109110810B
主分类号
/C/C01/ 化学;冶金
标准类别
无机化学
批准发布部门
国家知识产权局
专利状态
有效专利

发明人

霍晓青 徐永宽 程红娟 刘禹岑 高彦昭

申请人

中国电子科技集团公司第四十六研究所

申请人地址

300220 天津市河西区洞庭路26号

专利摘要

本发明公开了一种砷锗镉晶体生长原料的稳流合成方法。
把高纯度的Cd、Ge和As原料放入船型坩埚内,再放入半椭圆形的坩埚内,推入带有稳流装置的长型外坩埚内,抽真空进行密封后放入三温区合成炉中进行合成,使装As原料的坩埚处于炉体第一温区部位,稳流装置处于第二温区部位,装Cd原料和Ge原料的坩埚处于第三温区部位。
本方法通过三温区合成炉精确控制Cd、Ge和As原料反应温度,降低合成过程中的多余中间产物,并通过稳流装置,控制反应速度,保证了合成的安全性,有效调节合成原料化学计量比。

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