本实用新型提供了一种玻璃基板蚀刻脱模装置,主要包括脱模机构,脱模机构由机械臂、楔形铲刀、罗茨风机、鼓风通道构成;脱模机构位于脱模腔内,脱模腔内贯通有鼓风通道;脱模腔两侧固定连接有支撑板,支撑板上活动连接有机械臂;机械臂上铰接有楔形铲刀;支撑板底部设有蚀刻槽;蚀刻槽位于底座顶部,蚀刻槽与鼓风通道相连通。
本实用新型通过驱动机械臂带动楔形铲刀,铲入玻璃基板与吸附垫的边缘缝隙处,均匀缓慢推进,抬高玻璃基板使得与吸附垫分离,同时脱模腔内注入气体,保持玻璃基板脱模时内外压力的均匀,避免发生翘曲变形现象,良率高,稳定性强,可移动,使用便捷,经济适用性好,具有广阔的市场前景。
孟繁宇
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本实用新型提供了一种玻璃基板蚀刻脱模装置,主要包括脱模机构,脱模机构由机械臂、楔形铲刀、罗茨风机、鼓风通道构成;脱模机构位于脱模腔内,脱模腔内贯通有鼓风通道;脱模腔两侧固定连接有支撑板,支撑板上活动连接有机械臂;机械臂上铰接有楔形铲刀;支撑板底部设有蚀刻槽;蚀刻槽位于底座顶部,蚀刻槽与鼓风通道相连通。
本实用新型通过驱动机械臂带动楔形铲刀,铲入玻璃基板与吸附垫的边缘缝隙处,均匀缓慢推进,抬高玻璃基板使得与吸附垫分离,同时脱模腔内注入气体,保持玻璃基板脱模时内外压力的均匀,避免发生翘曲变形现象,良率高,稳定性强,可移动,使用便捷,经济适用性好,具有广阔的市场前景。