本实用新型是有关于一种玻璃基板研磨削减装置，其用于一玻璃基板的平坦化制造工艺，其包含一流体喷出元件，该流体喷出元件具有一圆柱状喷嘴，该圆柱状喷嘴具有一喷雾产生单元，该流体喷出元件输入一流体以经过该喷雾产生单元产生一圆柱状喷雾，并该圆柱状喷雾扫射冲击该玻璃基板的各个区域，据而通过该圆柱状喷雾具较均匀的压力分布，使该玻璃基板的各个区域能够均匀的受到相同压力的冲击，而让该玻璃基板的各个区域所受到研磨削减量相同，进而提高玻璃基板进行平坦化制造工艺的均匀度。

何义炉

何义炉

中国台湾新竹县

本实用新型是有关于一种玻璃基板研磨削减装置，其用于一玻璃基板的平坦化制造工艺，其包含一流体喷出元件，该流体喷出元件具有一圆柱状喷嘴，该圆柱状喷嘴具有一喷雾产生单元，该流体喷出元件输入一流体以经过该喷雾产生单元产生一圆柱状喷雾，并该圆柱状喷雾扫射冲击该玻璃基板的各个区域，据而通过该圆柱状喷雾具较均匀的压力分布，使该玻璃基板的各个区域能够均匀的受到相同压力的冲击，而让该玻璃基板的各个区域所受到研磨削减量相同，进而提高玻璃基板进行平坦化制造工艺的均匀度。