公开了一种改性纳米二氧化硅复合抛光液，由下列质量重量份的原料制备：金刚石微粉、纳米二氧化硅、表面活性剂、分散剂、去离子水、稳定剂、PH调节剂组成；其制备步骤如下：(1)改性：将表面活性剂、纳米二氧化硅依次置于水中超声分散；(2)分散：将金刚石微粉加入分散后的纳米二氧化硅溶液中超声分散；(3)混合：依次向分散好的复合抛光液中加入分散剂、稳定剂；(4)调PH：使用pH调节剂调节复合抛光液的PH值；(5)过滤、保存：将改性纳米二氧化硅复合抛光液反复过滤，过滤完毕的抛光液于PE材质塑料桶中密封保存。
本发明产品应用于熔石英元件表面的纳米射流抛光，抛光后的熔石英镜面表面质量高，镜面损伤低，激光损伤阈值高。

石峰 张万里 戴一帆 彭小强 宋辞 宋家亮

中国人民解放军国防科技大学

410073 湖南省长沙市开福区德雅路109号

公开了一种改性纳米二氧化硅复合抛光液，由下列质量重量份的原料制备：金刚石微粉、纳米二氧化硅、表面活性剂、分散剂、去离子水、稳定剂、PH调节剂组成；其制备步骤如下：(1)改性：将表面活性剂、纳米二氧化硅依次置于水中超声分散；(2)分散：将金刚石微粉加入分散后的纳米二氧化硅溶液中超声分散；(3)混合：依次向分散好的复合抛光液中加入分散剂、稳定剂；(4)调PH：使用pH调节剂调节复合抛光液的PH值；(5)过滤、保存：将改性纳米二氧化硅复合抛光液反复过滤，过滤完毕的抛光液于PE材质塑料桶中密封保存。
本发明产品应用于熔石英元件表面的纳米射流抛光，抛光后的熔石英镜面表面质量高，镜面损伤低，激光损伤阈值高。