研磨用组合物及研磨方法 下载此专利PDF版本

CN201580018008.3 研磨 组合 方法

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专利摘要

本发明涉及研磨用组合物以及使用该研磨用组合物的研磨方法，该研磨用组合物含有水和二氧化硅，所述二氧化硅的BET比表面积为30m

专利状态

  1. 申请日
  2. 公开日
  3. 审查中-公开

基础信息

专利号
CN201580018008.3
申请日
2015-03-30
公开日
2016-11-16
公开号
CN106133107A
主分类号
/C/C09/ 化学；冶金
标准类别
染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
批准发布部门
国家知识产权局
专利状态
审查中-公开

发明人

松下隆幸 山崎智基

申请人

霓达哈斯股份有限公司

申请人地址

日本大阪

专利摘要

本发明涉及研磨用组合物以及使用该研磨用组合物的研磨方法，该研磨用组合物含有水和二氧化硅，所述二氧化硅的BET比表面积为30m

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