本发明提供一种在以氧化铈作为研磨磨粒对玻璃基板的表面进行研磨的研磨处理中能够提高研磨速度的玻璃基板的研磨方法。
本发明的玻璃基板的研磨方法是向玻璃基板的研磨面上供给含有氧化铈作为研磨磨粒的研磨液而对玻璃基板的表面进行研磨处理的方法。
其中，作为上述研磨液，使用含有上述氧化铈作为研磨磨粒，还含有无机还原剂，并且为碱性的研磨液。

中川裕树

HOYA株式会社

日本东京都

本发明提供一种在以氧化铈作为研磨磨粒对玻璃基板的表面进行研磨的研磨处理中能够提高研磨速度的玻璃基板的研磨方法。
本发明的玻璃基板的研磨方法是向玻璃基板的研磨面上供给含有氧化铈作为研磨磨粒的研磨液而对玻璃基板的表面进行研磨处理的方法。
其中，作为上述研磨液，使用含有上述氧化铈作为研磨磨粒，还含有无机还原剂，并且为碱性的研磨液。