本发明提供具有极佳加热老化及存放稳定性的水性化学机械平面化(CMP)抛光组合物，呈包含以下两者的混合物的浓缩物形式：含有两个季铵基团的化合物，如六丁基C

郭毅 D·莫斯利 D·L·托尔森

罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司

美国特拉华州

本发明提供具有极佳加热老化及存放稳定性的水性化学机械平面化(CMP)抛光组合物，呈包含以下两者的混合物的浓缩物形式：含有两个季铵基团的化合物，如六丁基C