一种绝缘层蚀刻剂组合物，包括：磷酸；硅烷化合物，其包含第一硅烷化合物和第二硅烷化合物，所述第一硅烷化合物包括通过连接基与硅原子结合的磷酸可溶性基团，所述第二硅烷化合物具有比所述第一硅烷化合物的水溶解性低的水溶解性；和余量的水。
可以钝化氧化物层并且可以通过第一硅烷化合物增强溶解性以改善蚀刻性能。

李恩姃 崔汉永 金炳默 金泰熙 金正桓

东友精细化工有限公司

韩国全罗北道

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可以钝化氧化物层并且可以通过第一硅烷化合物增强溶解性以改善蚀刻性能。