本发明实施例公开了一种氮化镓衬底材料的抛光液，包括抛光颗粒、腐蚀剂、氧化剂、有序催化剂、分散稳定剂和水，各组分重量百分比含量为：抛光颗粒10～50wt%；腐蚀剂0.1～20wt%；氧化剂0.01～10wt%；有序催化剂0.0001～10wt%；分散稳定剂0.01～10wt%；水余量。
本发明在抛光液中添加了有序催化剂，该催化剂通过合成、改性方法制备，其表面具有特殊结构、电子排布、表面基团，在抛光中可以有序吸附在氮化镓表面，从而提高抛光液的去除速率。

潘国顺 陈高攀 罗海梅

深圳清华大学研究院

518000 广东省深圳市南山区粤海街道高新技术工业村

本发明实施例公开了一种氮化镓衬底材料的抛光液，包括抛光颗粒、腐蚀剂、氧化剂、有序催化剂、分散稳定剂和水，各组分重量百分比含量为：抛光颗粒10～50wt%；腐蚀剂0.1～20wt%；氧化剂0.01～10wt%；有序催化剂0.0001～10wt%；分散稳定剂0.01～10wt%；水余量。
本发明在抛光液中添加了有序催化剂，该催化剂通过合成、改性方法制备，其表面具有特殊结构、电子排布、表面基团，在抛光中可以有序吸附在氮化镓表面，从而提高抛光液的去除速率。