本发明涉及一种用于减少由极紫外光曝光光源所限定的包括聚羟基苯乙烯(polyhydroxystyrene)的光致抗蚀剂图案的坍塌的工艺液体组合物及利用其的图案形成方法，其中，所述工艺液体组合物包括：0.0001至1重量％的HLB值为9至16的非离子表面活性剂；0.0001至1重量％的选自由四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵或其混合物所组成的组中的碱性物质；及98至99.9998重量％的水。
本发明具有减少由极紫外光曝光光源所限定的包括聚羟基苯乙烯的光致抗蚀剂图案的坍塌的效果。

李秀珍 李昇勋 李昇炫

荣昌化学制品株式会社

韩国庆尚北道

本发明涉及一种用于减少由极紫外光曝光光源所限定的包括聚羟基苯乙烯(polyhydroxystyrene)的光致抗蚀剂图案的坍塌的工艺液体组合物及利用其的图案形成方法，其中，所述工艺液体组合物包括：0.0001至1重量％的HLB值为9至16的非离子表面活性剂；0.0001至1重量％的选自由四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵或其混合物所组成的组中的碱性物质；及98至99.9998重量％的水。
本发明具有减少由极紫外光曝光光源所限定的包括聚羟基苯乙烯的光致抗蚀剂图案的坍塌的效果。