本发明公开了一种多元合金靶材、多元金属/氮化物复合涂层及其制备方法，该多元合金靶材为Ti‑Al‑Cr‑Zr‑Mo合金；该复合涂层以钛合金为基体材料，以Ti‑Al‑Cr‑Zr‑Mo多元合金为靶材，包括一组或多组沿基体材料依次生长的金属层和氮化物层。
该复合涂层的制备方法为：对钛合金基体依次进行离子轰击清洗，采用多弧离子镀对轰击清洗的基体进行多元金属层沉积；在多元金属层之上沉积多元氮化物层，得多元金属/氮化物复合涂层。
本发明通过合理设计多元合金靶材的成分，使复合涂层与基体之间相互匹配，使涂层具有良好的抗冲蚀、抗腐蚀、抗氧化性能，且提高涂层与钛合金基体的结合力。

孙志平 孟庆杰 田晓东 袁战伟 李玉琴 何光宇 陈永楠

长安大学

710064 陕西省西安市南二环中段33号

本发明公开了一种多元合金靶材、多元金属/氮化物复合涂层及其制备方法，该多元合金靶材为Ti‑Al‑Cr‑Zr‑Mo合金；该复合涂层以钛合金为基体材料，以Ti‑Al‑Cr‑Zr‑Mo多元合金为靶材，包括一组或多组沿基体材料依次生长的金属层和氮化物层。
该复合涂层的制备方法为：对钛合金基体依次进行离子轰击清洗，采用多弧离子镀对轰击清洗的基体进行多元金属层沉积；在多元金属层之上沉积多元氮化物层，得多元金属/氮化物复合涂层。
本发明通过合理设计多元合金靶材的成分，使复合涂层与基体之间相互匹配，使涂层具有良好的抗冲蚀、抗腐蚀、抗氧化性能，且提高涂层与钛合金基体的结合力。