本发明提供了一种溅射靶材的去内应力校正方法，属于靶材制造领域。
本发明通过预压使溅射靶材在冷却过程中不发生变形，再利用高频振动的方式释放靶材绑定过程中产生的残余应力，最后进行校直保压处理。
相比于传统工艺中的直接保压方法，本发明的方法具有生产周期短、内应力消除率高、使用方便、易于实现机械化、自动化且成品率高的优点，具有显著的经济应用价值。

张科 黄先彬 林晓明 池铭浩 李强

福建阿石创新材料股份有限公司

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本发明提供了一种溅射靶材的去内应力校正方法，属于靶材制造领域。
本发明通过预压使溅射靶材在冷却过程中不发生变形，再利用高频振动的方式释放靶材绑定过程中产生的残余应力，最后进行校直保压处理。
相比于传统工艺中的直接保压方法，本发明的方法具有生产周期短、内应力消除率高、使用方便、易于实现机械化、自动化且成品率高的优点，具有显著的经济应用价值。