本发明提供表面处理装置和表面处理方法，能够恰到好处地进行直到基板上部的表面处理。
通过吊架(50)的夹紧件(52)夹住基板(54)的上端部而进行保持。
在吊架(50)所保持的基板(54)的两侧设置有作为处理液放出部的管(56)。
在该管(56)上以朝向斜上方放出处理液的方式设置有孔(58)。
所放出的处理液流过基板(54)的表面而到达下部，通过泵(60)来进行循环而再次从管(56)放出。

内海雅之 山本久光 星俊作 水本纯司

上村工业株式会社

日本大阪府

本发明提供表面处理装置和表面处理方法，能够恰到好处地进行直到基板上部的表面处理。
通过吊架(50)的夹紧件(52)夹住基板(54)的上端部而进行保持。
在吊架(50)所保持的基板(54)的两侧设置有作为处理液放出部的管(56)。
在该管(56)上以朝向斜上方放出处理液的方式设置有孔(58)。
所放出的处理液流过基板(54)的表面而到达下部，通过泵(60)来进行循环而再次从管(56)放出。