本发明公开了一种微尺寸壳层型零件金属模芯脱模用电解腐蚀装置，包括可以作X轴、Y轴方向移动的阴极系统，用于阳极工件定位夹持且可作Z轴方向移动和旋转移动的阳极系统，用于电解液循环、过滤、加热且流速可控的电解液循环过滤系统，用于电解液金属离子监测的离子浓度在线监测系统，加工时阳极工件与阴极的喷嘴呈倾斜状态，阳极工件位于阴极喷嘴的斜上方，在直流脉冲电源的作用下，通过对腐蚀电压的控制，经电解液冲刷腐蚀，去除微尺寸壳层型零件金属模芯，得到壳层型金属零件。
本装置解决了普通化学腐蚀效率低、污染重的缺点，通过电解腐蚀提高生产效率，并且具有电解液可循环使用、绿色环保的优点。

卢春林 张云望 尹强 张超 肖江 苏琳 李娃

中国工程物理研究院激光聚变研究中心

621900 四川省绵阳市绵山路64号

本发明公开了一种微尺寸壳层型零件金属模芯脱模用电解腐蚀装置，包括可以作X轴、Y轴方向移动的阴极系统，用于阳极工件定位夹持且可作Z轴方向移动和旋转移动的阳极系统，用于电解液循环、过滤、加热且流速可控的电解液循环过滤系统，用于电解液金属离子监测的离子浓度在线监测系统，加工时阳极工件与阴极的喷嘴呈倾斜状态，阳极工件位于阴极喷嘴的斜上方，在直流脉冲电源的作用下，通过对腐蚀电压的控制，经电解液冲刷腐蚀，去除微尺寸壳层型零件金属模芯，得到壳层型金属零件。
本装置解决了普通化学腐蚀效率低、污染重的缺点，通过电解腐蚀提高生产效率，并且具有电解液可循环使用、绿色环保的优点。