本发明公开了一种超高真空不锈钢腔室构件的去应力工艺，包括如下工艺步骤：不锈钢真空腔体板件焊接时在两块板上套设柔性隔热绝缘套，两个柔性隔热绝缘套其靠近焊缝处端部的距离大于两块板拼合焊接后的焊缝的宽度；在板件套设上柔性隔热绝缘套后在焊枪的下部固定连接凸杆，凸杆长度上满足焊接时凸杆超出柔性隔热绝缘套上设置的随焊敲击件其底面但凸杆底端与板件表面设有间距；然后打开鼓风机、抽风机；启动鼓风机及抽风机后焊接；将焊接完成后的工件置放在振动去应力工装上，然后将激振器用两个弓形卡具装夹在工件上，装夹位置设置在工件共振时的某一个波峰处；将传感器吸紧在工件共振时的另一个波峰处。
本发明在焊接时就减少应力产生。

瞿建强 黄仕强

江阴市光科光电精密设备有限公司

214400 江苏省无锡市江阴市高新园区长山路

本发明公开了一种超高真空不锈钢腔室构件的去应力工艺，包括如下工艺步骤：不锈钢真空腔体板件焊接时在两块板上套设柔性隔热绝缘套，两个柔性隔热绝缘套其靠近焊缝处端部的距离大于两块板拼合焊接后的焊缝的宽度；在板件套设上柔性隔热绝缘套后在焊枪的下部固定连接凸杆，凸杆长度上满足焊接时凸杆超出柔性隔热绝缘套上设置的随焊敲击件其底面但凸杆底端与板件表面设有间距；然后打开鼓风机、抽风机；启动鼓风机及抽风机后焊接；将焊接完成后的工件置放在振动去应力工装上，然后将激振器用两个弓形卡具装夹在工件上，装夹位置设置在工件共振时的某一个波峰处；将传感器吸紧在工件共振时的另一个波峰处。
本发明在焊接时就减少应力产生。