本发明属于软体致动器制备领域，公开了一种薄膜弯曲致动器的制备方法，制备方法包括以下步骤：(1)对下层薄膜的导电金属层进行图案化形成表面电阻；(2)从表面电阻的端部引出导线；(3)将上层薄膜和下层薄膜在预先选定的位置进行层合与热封并形成空腔，得到热封薄膜；(4)在薄膜预先选定位置切割完成成品的制备。
使用时对导线通电使表面电阻放热使低沸点液体气化体积膨胀实现薄膜弯曲致动器的功能。
本发明针对薄膜弯曲致动器提出完整批量化制备工艺，有着成本低效率高的优点。
得到的薄膜弯曲致动器具有薄，轻等特点，尤其适用于可穿戴设备，具有良好的应用前景。

吴志刚 黄炳康 朱嘉淇

华中科技大学

430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

本发明属于软体致动器制备领域，公开了一种薄膜弯曲致动器的制备方法，制备方法包括以下步骤：(1)对下层薄膜的导电金属层进行图案化形成表面电阻；(2)从表面电阻的端部引出导线；(3)将上层薄膜和下层薄膜在预先选定的位置进行层合与热封并形成空腔，得到热封薄膜；(4)在薄膜预先选定位置切割完成成品的制备。
使用时对导线通电使表面电阻放热使低沸点液体气化体积膨胀实现薄膜弯曲致动器的功能。
本发明针对薄膜弯曲致动器提出完整批量化制备工艺，有着成本低效率高的优点。
得到的薄膜弯曲致动器具有薄，轻等特点，尤其适用于可穿戴设备，具有良好的应用前景。