本发明涉及精密气体流量阀技术领域，尤其涉及一种用于精密气体流量阀的控制系统及方法，由直流电源模块、驱动电压产生模块、控制模块、流量信号调理模块和流量传感器以电信号方式连接；建立流量信号调理模块输出电压和流量传感器采集气体流量的BP神经网络模型；建立流量信号调理模块输出电压和驱动电压产生模块驱动电压的无模型自适应控制模型；由D/A输出给驱动电压产生模块，实现流量控制。
利用压电陶瓷驱动流量阀的主阀芯，实现对阀芯与阀体开合间位移的精密控制，从而实现对流量阀开口量的控制，实现微流体、高速精密控制。

顾守东 崔建松 吕庆庆

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本发明涉及精密气体流量阀技术领域，尤其涉及一种用于精密气体流量阀的控制系统及方法，由直流电源模块、驱动电压产生模块、控制模块、流量信号调理模块和流量传感器以电信号方式连接；建立流量信号调理模块输出电压和流量传感器采集气体流量的BP神经网络模型；建立流量信号调理模块输出电压和驱动电压产生模块驱动电压的无模型自适应控制模型；由D/A输出给驱动电压产生模块，实现流量控制。
利用压电陶瓷驱动流量阀的主阀芯，实现对阀芯与阀体开合间位移的精密控制，从而实现对流量阀开口量的控制，实现微流体、高速精密控制。