一种集成化制出的流体系统，包含一流体作动区、一流体通道、一汇流腔室以及多个阀，该流体作动区由一或多个导流单元所构成，各导流单元由入口板、基材、共振板、致动板以及出口板依序堆叠所构成，致动板更贴附一压电元件，以受驱使振动而使流体导入该导流单元并加压导出。
该流体通道连通流体作动区，且具有多个分歧通道以分流流体作动区所传输的流体。
汇流腔室连通流体通道。
多个阀分别设置于该多个分歧通道中，借由控制其启闭状态而控制流体由该分歧通道中输出。
透过以上设置，可获取特定流量、压力与传输量的流体输出。

莫皓然 黄启峰 韩永隆 陈宣恺

研能科技股份有限公司

中国台湾新竹市科学园区研发二路28号1楼

一种集成化制出的流体系统，包含一流体作动区、一流体通道、一汇流腔室以及多个阀，该流体作动区由一或多个导流单元所构成，各导流单元由入口板、基材、共振板、致动板以及出口板依序堆叠所构成，致动板更贴附一压电元件，以受驱使振动而使流体导入该导流单元并加压导出。
该流体通道连通流体作动区，且具有多个分歧通道以分流流体作动区所传输的流体。
汇流腔室连通流体通道。
多个阀分别设置于该多个分歧通道中，借由控制其启闭状态而控制流体由该分歧通道中输出。
透过以上设置，可获取特定流量、压力与传输量的流体输出。