提供一种在连续运转的设备中使用时能够连续使用的流量控制装置及流量控制装置的流量控制方法。
流体通过分别配置于分支路(P1、P2、P3)的控制阀(5)中的某一个控制阀而被进行流量控制。
在基于来自控制阀(5)的监视部(5a)的信号判断成需要更换控制阀(5)时，关闭正在进行流量控制的控制阀(5)，同时打开设置于其他分支路(P1、P2、P3)的控制阀(5)并进行与更换前同等的流量控制。
而且，配置在关闭的控制阀(5)的上游侧及下游侧的开闭阀(12、13)也关闭。

船越高志 下村嘉德 谷川毅 药师神忠幸

株式会社富士金

日本大阪府

提供一种在连续运转的设备中使用时能够连续使用的流量控制装置及流量控制装置的流量控制方法。
流体通过分别配置于分支路(P1、P2、P3)的控制阀(5)中的某一个控制阀而被进行流量控制。
在基于来自控制阀(5)的监视部(5a)的信号判断成需要更换控制阀(5)时，关闭正在进行流量控制的控制阀(5)，同时打开设置于其他分支路(P1、P2、P3)的控制阀(5)并进行与更换前同等的流量控制。
而且，配置在关闭的控制阀(5)的上游侧及下游侧的开闭阀(12、13)也关闭。