本发明提供过热水蒸气生成装置及使用其的处理方法，能够防止使用过热水蒸气处理被处理物时在被处理物上产生结露，所述过热水蒸气生成装置包括：感应加热方式或通电加热方式的水蒸气生成部(2)，从水生成水蒸气；感应加热方式或通电加热方式的过热水蒸气生成部(3)，从水蒸气生成过热水蒸气；水蒸气供给流道(L2)，向过热水蒸气生成部(3)供给由水蒸气生成部(2)生成了的水蒸气；以及气体供给流道(L3)，向过热水蒸气生成部(3)供给其它气体，所述过热水蒸气生成装置能切换为第一状态或第二状态，所述第一状态是向过热水蒸气生成部(3)供给水蒸气的状态，所述第二状态是向过热水蒸气生成部(3)供给其它气体的状态。

外村徹 北野孝次 藤本泰広

特电株式会社

日本京都府

本发明提供过热水蒸气生成装置及使用其的处理方法，能够防止使用过热水蒸气处理被处理物时在被处理物上产生结露，所述过热水蒸气生成装置包括：感应加热方式或通电加热方式的水蒸气生成部(2)，从水生成水蒸气；感应加热方式或通电加热方式的过热水蒸气生成部(3)，从水蒸气生成过热水蒸气；水蒸气供给流道(L2)，向过热水蒸气生成部(3)供给由水蒸气生成部(2)生成了的水蒸气；以及气体供给流道(L3)，向过热水蒸气生成部(3)供给其它气体，所述过热水蒸气生成装置能切换为第一状态或第二状态，所述第一状态是向过热水蒸气生成部(3)供给水蒸气的状态，所述第二状态是向过热水蒸气生成部(3)供给其它气体的状态。