一种在窑炉中加热器皿的方法。
所述窑炉的器皿空间包含多个沿第一方向定向的温度控制区和多个沿第二方向定向的温度控制区。
所述方法包括在第一加热阶段、第二加热阶段和第三加热阶段中对器皿空间进行加热。
满足以下条件中的至少一项:(i)在所述加热阶段中的一个中,沿第一方向定向的一个温度控制区的设定温度不同于沿第一方向定向的另一个温度控制区的设定温度;以及(ii)在所述加热阶段中的一个中,沿第二方向定向的一个温度控制区的设定温度不同于沿第二方向定向的另一个温度控制区的设定温度,其中,所述第一方向为垂直方向,而所述第二方向为水平方向。
G·P·狄龙 B·吉斯玛 M·格里克 T·M·泰博三世
康宁股份有限公司
美国纽约州
一种在窑炉中加热器皿的方法。
所述窑炉的器皿空间包含多个沿第一方向定向的温度控制区和多个沿第二方向定向的温度控制区。
所述方法包括在第一加热阶段、第二加热阶段和第三加热阶段中对器皿空间进行加热。
满足以下条件中的至少一项:(i)在所述加热阶段中的一个中,沿第一方向定向的一个温度控制区的设定温度不同于沿第一方向定向的另一个温度控制区的设定温度;以及(ii)在所述加热阶段中的一个中,沿第二方向定向的一个温度控制区的设定温度不同于沿第二方向定向的另一个温度控制区的设定温度,其中,所述第一方向为垂直方向,而所述第二方向为水平方向。