本公开的流路构件包含氮化硅质陶瓷,在内部具备流入口、流出口、以及与流入口和流出口相连的流路,在流路的表面交错地存在多个针状晶体。
石峰裕作 宗石猛 藤尾和彦 福田悦幸 高浪健太郎 白井隆雄
京瓷株式会社 东芝高新材料公司
日本京都府