本发明公开了一种基于弹性微珠的电容型压力传感器及其制备方法，该电容型压力传感器结构包括基底、电极层、介电层，在第一介电层和第二介电层之间设置有多个弹性微珠，弹性微珠材料为聚二甲基硅氧烷，在电容型压力传感器的介电层中引入弹性微珠，增加了介电层中的空气间隙，减小了介电层的杨氏模量，同时使传感器受到压力时内部应力集中分布于弹性微珠，器件更容易发生形变，进而提高电容型压力传感器的灵敏度和检测范围，结果表明，本发明提供的基于弹性微珠的电容型压力传感器在0‑10kPa下灵敏度为0.0479kPa

太惠玲 孙宇鹏 袁震 蒋亚东 黄琦 刘勃豪

电子科技大学

611731 四川省成都市高新区西源大道2006号

本发明公开了一种基于弹性微珠的电容型压力传感器及其制备方法，该电容型压力传感器结构包括基底、电极层、介电层，在第一介电层和第二介电层之间设置有多个弹性微珠，弹性微珠材料为聚二甲基硅氧烷，在电容型压力传感器的介电层中引入弹性微珠，增加了介电层中的空气间隙，减小了介电层的杨氏模量，同时使传感器受到压力时内部应力集中分布于弹性微珠，器件更容易发生形变，进而提高电容型压力传感器的灵敏度和检测范围，结果表明，本发明提供的基于弹性微珠的电容型压力传感器在0‑10kPa下灵敏度为0.0479kPa