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专利摘要

一种微机电(MEMS)加速度计,其基于检测质量块围绕旋转轴线的平面外旋转来感测垂直于MEMS加速度计的MEMS装置平面的线性加速度。
对称轴线垂直于旋转轴线。
检测质量块包括关于对称轴线对称的对称部分,所述对称部分与关于对称轴线不对称的非对称部分相毗邻。

专利状态

基础信息

专利号
CN201880077298.2
申请日
2018-08-27
公开日
2021-07-27
公开号
CN111417594B
主分类号
/G/G01/ 物理
标准类别
测量;测试
批准发布部门
国家知识产权局
专利状态
有效专利

发明人

M·汤普森 H·乔哈里-加勒 L·巴尔达萨雷 S·尼灿 K·威廉姆斯

申请人

应美盛股份有限公司

申请人地址

美国加利福尼亚

专利摘要

一种微机电(MEMS)加速度计,其基于检测质量块围绕旋转轴线的平面外旋转来感测垂直于MEMS加速度计的MEMS装置平面的线性加速度。
对称轴线垂直于旋转轴线。
检测质量块包括关于对称轴线对称的对称部分,所述对称部分与关于对称轴线不对称的非对称部分相毗邻。

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