本发明涉及一种单根纳米线表面压力传感方法，尤其涉及一种在扫描电子显微镜中的凸出AFM探针在纳米线表面的压力传感方法，该方法可以为扫描电镜中利用凸出AFM探针对单根纳米线施加定量的压力提供依据。
该压力传感方法由三个步骤组成：1)基于视觉追踪的AFM悬臂梁弯曲挠度计算，2)AFM刚度矫正，3)AFM转矩矫正。
本发明提出的压力传感方法可以和凸出AFM具有可视化探针(俯视角度)的优点相结合，并有效应用于扫描电镜中的纳米材料操控和表征等领域，为向单根纳米线定量精确施加压力提供了实时的压力反馈。
该传感方法计算过程简洁、高效、应用范围广，适用于不同尺寸的单根纳米线的表面压力传感。

曲钧天 张震

清华大学

100084 北京市海淀区清华园1号

本发明涉及一种单根纳米线表面压力传感方法，尤其涉及一种在扫描电子显微镜中的凸出AFM探针在纳米线表面的压力传感方法，该方法可以为扫描电镜中利用凸出AFM探针对单根纳米线施加定量的压力提供依据。
该压力传感方法由三个步骤组成：1)基于视觉追踪的AFM悬臂梁弯曲挠度计算，2)AFM刚度矫正，3)AFM转矩矫正。
本发明提出的压力传感方法可以和凸出AFM具有可视化探针(俯视角度)的优点相结合，并有效应用于扫描电镜中的纳米材料操控和表征等领域，为向单根纳米线定量精确施加压力提供了实时的压力反馈。
该传感方法计算过程简洁、高效、应用范围广，适用于不同尺寸的单根纳米线的表面压力传感。