本发明公开了应用于AFM‑SEM混合显微镜系统的PRC及其制造方法。
本发明一种应用于AFM‑SEM混合显微镜系统的PRC，包括：pcb基板、设置在所述pcb基板上的衬底、设置在所述衬底上的固定值电阻器、设置在所述衬底上的压电电阻器、焊盘和固定结构；所述压电电阻器包括悬臂梁和设置在所述悬臂梁前端的探针；所述固定值电阻器和所述压电电阻器互相平行；所述pcb基板远离所述衬底的一侧、两个侧边和靠近所述衬底的一侧设有第一导电涂层。
本发明的有益效果：通过导电涂层尽可能消除落在PRC上的电荷，降低SEM电子束对PRC造成的干扰，使得基于PRC的AFM可以兼容SEM。

陈科纶 王纯配 陈俊 孙钰 汝长海

江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司

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本发明公开了应用于AFM‑SEM混合显微镜系统的PRC及其制造方法。
本发明一种应用于AFM‑SEM混合显微镜系统的PRC，包括：pcb基板、设置在所述pcb基板上的衬底、设置在所述衬底上的固定值电阻器、设置在所述衬底上的压电电阻器、焊盘和固定结构；所述压电电阻器包括悬臂梁和设置在所述悬臂梁前端的探针；所述固定值电阻器和所述压电电阻器互相平行；所述pcb基板远离所述衬底的一侧、两个侧边和靠近所述衬底的一侧设有第一导电涂层。
本发明的有益效果：通过导电涂层尽可能消除落在PRC上的电荷，降低SEM电子束对PRC造成的干扰，使得基于PRC的AFM可以兼容SEM。