本发明公开了一种基于调制自由电子的扫描近场光学显微镜，属于扫描近场光学显微镜。
该显微镜包括电子枪、扫描近场光学显微镜，电子枪产生谐波形式的近场信号，该近场信号在样品处激发样品上的各阶近场信号和远场信号；探测器探测到被探针散射的各阶近场信号和远场信号，通过分离远场信号和近场信号，得到最终的扫描结果。
本发明利用调制自由电子代替原有的外部光源，通过对自由电子进行调制，取代原有针尖振动所起的调制作用，提升信号转化效率、信噪比，同时因为不再需要针尖进行抖动，避免了因其抖动可能产生的近场信号和成像的不良影响，最终达到增强近场信号强度和近场成像质量的效果，具有深远的实用意义。

胡旻 张天宇 张倬铖 王玥莹 张晓秋艳 许星星 吴振华 刘盛纲

电子科技大学

611731 四川省成都市高新区（西区）西源大道2006号

本发明公开了一种基于调制自由电子的扫描近场光学显微镜，属于扫描近场光学显微镜。
该显微镜包括电子枪、扫描近场光学显微镜，电子枪产生谐波形式的近场信号，该近场信号在样品处激发样品上的各阶近场信号和远场信号；探测器探测到被探针散射的各阶近场信号和远场信号，通过分离远场信号和近场信号，得到最终的扫描结果。
本发明利用调制自由电子代替原有的外部光源，通过对自由电子进行调制，取代原有针尖振动所起的调制作用，提升信号转化效率、信噪比，同时因为不再需要针尖进行抖动，避免了因其抖动可能产生的近场信号和成像的不良影响，最终达到增强近场信号强度和近场成像质量的效果，具有深远的实用意义。