本发明公开了一种通电离子源挡板，包括金属挡板、高压电源、配重块和挡板旋转驱动装置；金属挡板同轴设置在离子源和晶圆之间的蚀刻腔体内，金属挡板面积大于离子源的离子束出口面积；金属挡板和高压电源电连接，金属挡板表面具有正电荷；配重块设置在金属挡板底部，邻近配重块的金属挡板与挡板旋转驱动装置相连接，并在挡板旋转驱动装置的驱动作用下，进行旋转转动；离子源包括射频、加速电场和中和器。
本发明不仅可以阻挡不必要的离子束流对晶圆的损坏，而且使得挡板不受离子束的轰击产生不必要的颗粒，污染真空环境，使其更换周期极大限度的延长。
同时，挡板材料可以使用普通金属，极大的降低了成本。

刘海洋 邱勇 刘小波 李娜 程实然 王铖熠 胡冬冬 许开东

江苏鲁汶仪器有限公司

221300 江苏省徐州市邳州经济开发区辽河西路8号

本发明公开了一种通电离子源挡板，包括金属挡板、高压电源、配重块和挡板旋转驱动装置；金属挡板同轴设置在离子源和晶圆之间的蚀刻腔体内，金属挡板面积大于离子源的离子束出口面积；金属挡板和高压电源电连接，金属挡板表面具有正电荷；配重块设置在金属挡板底部，邻近配重块的金属挡板与挡板旋转驱动装置相连接，并在挡板旋转驱动装置的驱动作用下，进行旋转转动；离子源包括射频、加速电场和中和器。
本发明不仅可以阻挡不必要的离子束流对晶圆的损坏，而且使得挡板不受离子束的轰击产生不必要的颗粒，污染真空环境，使其更换周期极大限度的延长。
同时，挡板材料可以使用普通金属，极大的降低了成本。