用于操作衬底的设备
摘要文本
本发明实施例公开了一种用于操作衬底的设备，包括：抽气管(181)和抓取盘装置；在抓取盘装置的底部设置有沿圆周方向均匀设置的多个第一抽气孔(38，39)，多个第一抽气孔与抽气管(181)连通；多个第一抽气孔(38，39)分布在抓取盘装置底部的特定区域，在衬底(40)与抓取盘装置底部接触时，多个第一抽气孔位于衬底(40)外边缘处，通过抽气管(181)以及多个第一抽气孔抽出在衬底(40)与抓取盘装置的底部之间的空气，用以吸附衬底(40)。本发明的设备，在生成负压时，所需的抽气量、抽力更小，衬底边缘负压均匀，避免衬底的压伤及污染；提供双重缓冲，避免在取放片过程中对晶片压伤和污染，提高产品良率。。马 克 数 据 网
申请人信息
- 申请人:北京北方华创微电子装备有限公司
- 申请人地址:100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号
- 发明人: 北京北方华创微电子装备有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 用于操作衬底的设备 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201810867124.8 |
| 申请日 | 2018年8月1日 |
| 公告号 | CN108933099B |
| 公开日 | 2024年1月5日 |
| IPC主分类号 | H01L21/683 |
| 权利人 | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 发明人 | 弓利军 |
| 地址 | 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 |
专利主权项内容
1.一种用于操作衬底的设备，其特征在于，包括：抽气管(181)和抓取盘装置；所述抽气管(181)的一端与所述抓取盘装置连接；在所述抓取盘装置的底部设置有多个第一抽气孔，所述多个第一抽气孔与所述抽气管(181)连通；所述多个第一抽气孔分布在所述抓取盘装置底部的特定区域，使得在衬底(40)与所述抓取盘装置的底部接触的状态下，所述多个第一抽气孔位于所述衬底(40)外边缘处，其中，所述特定区域为环形区域；通过所述抽气管(181)以及所述多个第一抽气孔抽出在所述衬底(40)与所述抓取盘装置的底部之间的空气，用以吸附所述衬底(40)；所述抓取盘装置包括：匀气盘(182)、承载盘(183)、第一环形弹性元件(221)和第二环形弹性元件(222)；所述第一环形弹性元件(221)和所述第二环形弹性元件(222)位于所述匀气盘(182)和所述承载盘(183)之间，所述匀气盘(182)和所述承载盘(183)连接，所述第一环形弹性元件(221)和所述第二环形弹性元件(222)在所述匀气盘(182)和所述承载盘(183)之间围成环形密封空腔区域，所述匀气盘(182)设置有通气管道，所述多个第一抽气孔设置在所述承载盘(183)的底部，所述抽气管(181)与所述通气管道连通，所述通气管道和所述多个第一抽气孔均与所述环形密封空腔区域连通。