处理装置
摘要文本
本发明提供了一种处理装置，包括：载具，用于放置产品；浸泡机构，浸泡机构能够储存液体，浸泡机构用于浸泡产品；第一移动机构，可移动地设置，第一移动机构具有将载具至少部分地放入浸泡机构的第一工况以及将载具从浸泡机构取出的第二工况；第二移动机构，可移动地设置，第二移动机构用于将产品放入载具中；第三移动机构，可移动地设置，第三移动机构具有接收第一移动机构上的载具的第三工况以及将载具输送到外部的第四工况。通过本发明提供的技术方案，可以自动将未完全分离的薄膜和晶片集中接收和处理，从而可以代替现有的人工处理的方式，提高处理效率，并且可以避免损伤薄膜。
申请人信息
- 申请人:紫石能源有限公司
- 申请人地址:102208 北京市昌平区育知东路30号院1号楼6层3单元611
- 发明人: 紫石能源有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 处理装置 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201810997869.6 |
| 申请日 | 2018年8月29日 |
| 公告号 | CN110875211B |
| 公开日 | 2024年3月15日 |
| IPC主分类号 | H01L21/67 |
| 权利人 | 紫石能源有限公司 |
| 发明人 | 邹金成; 申兵兵; 王敬苗; 刘香廷 |
| 地址 | 北京市昌平区育知东路30号院1号楼6层3单元611 |
专利主权项内容
1.一种处理装置，其特征在于，包括：载具(10)，用于放置产品；浸泡机构(20)，所述浸泡机构(20)能够储存液体，所述浸泡机构(20)用于浸泡所述产品；第一移动机构(30)，可移动地设置，所述第一移动机构(30)具有将所述载具(10)至少部分地放入所述浸泡机构(20)的第一工况以及将所述载具(10)从所述浸泡机构(20)取出的第二工况；第二移动机构，可移动地设置，所述第二移动机构用于将所述产品放入所述载具(10)中；第三移动机构(60)，可移动地设置，所述第三移动机构(60)具有接收所述第一移动机构(30)上的所述载具(10)的第三工况以及将所述载具(10)输送到外部的第四工况；所述第二移动机构包括托载机构(40)，所述托载机构(40)可移动地设置在所述第一移动机构(30)上，所述托载机构(40)用于承载和移动所述产品以将所述产品放入所述载具(10)中；所述托载机构(40)包括：托叉(41)，所述托叉(41)用于接收和承载所述产品；第一驱动部(42)，所述托叉(41)设置在所述第一驱动部(42)上，所述第一驱动部(42)具有将所述托叉(41)移动到所述载具(10)外部的第五工况以及将所述托叉(41)移动到所述载具(10)内部的第六工况；所述托载机构(40)还包括：第二驱动部(43)，所述第一驱动部(42)设置在所述第二驱动部(43)上，所述第二驱动部(43)用于带动所述托叉(41)移动以将所述托叉(41)上的产品与所述托叉(41)分离；所述第一移动机构(30)包括：支架(31)，可移动地设置，所述第二移动机构设置在所述支架(31)上；第一托架(32)，设置在所述支架(31)上，所述第二移动机构至少部分地位于所述第一托架(32)的上方，所述第一托架(32)用于承载所述载具(10)；所述第一移动机构(30)至少部分地位于所述浸泡机构(20)的上方，所述第一移动机构(30)还包括：第四驱动部(33)，所述支架(31)设置在所述第四驱动部(33)上，所述第四驱动部(33)用于带动所述支架(31)竖直移动；所述第三移动机构(60)包括：第二托架(61)，可移动地设置，所述第二托架(61)用于承载所述载具(10)；第五驱动部(62)，用于驱动所述第二托架(61)向靠近或远离所述第一移动机构(30)的方向移动；所述第三移动机构(60)还包括：导向机构(63)，所述导向机构(63)用于对所述第二托架(61)进行导向。